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氦质谱检漏仪      型号:SFJ-261

 

  SFJ-261型氦质谱检漏仪是采用inficon技术,设备内芯使用inficon成套质谱模块,SFJ-261型氦质谱检漏仪尤其适用于半导体工业精确检漏的要求,具有启动快速、移动方便、灵敏度高、性能稳定等优点,在定期维护、临时检修气体管路和其他检漏应用中可快速提供检测结果。 

主要技术指标:
最小可检漏率:8×10ˉ13Pa·m3/s 
漏率显示范围:1×10-2~1×10-1212Pa·m3/s 
启动时间:≤2min 
响应时间:≤1s 
检漏口最高压力:≤2000Pa 
外型尺寸:340(W)×670(D)780(H) 

优势:
1.无油式设计,所有的部件均无油,并在无油的条件下组装和测试
2.方便的移动式设计,低重心、位置适当的把手和光滑的轮廓确保在工作场所随意地移动
3.可靠性甚高的真空系统,包括干式的机械泵以及高压缩比的复合型分子泵
4.液晶显示的版面设计,让检测结果更清晰 

  SFJ-261型氦质谱检漏仪将广泛的应用于半导体工艺设备的维护、工业气体系统的检测与安装、元器件在组装前的漏率测试及要求高抽速、高灵敏度以及清洁测试条件下的应用场合。