薄膜规热偶规复合真空测量仪 型号:ZB-1
测量范围: 105 ~0.1Pa 配用规管: ZJ-54D热偶规管 电源电压: AC220V 50Hz
Z系列真空测量仪是智能双通道低真空测量仪。 ZB-1薄膜规-热偶规复合真空测量仪在ZO-2热偶真空测量仪基础上增加了一路薄膜规管,用于测量10kPa-0.1Pa之间的真空度。本仪器可同时测量两路真空度,其中真空室1由热偶规管1和薄膜规管分段复合测量。 薄膜规在10kPa-100Pa间测量精度很高,但测量数百帕真空度时受温度影响很大。热偶规管在10kPa-100Pa间很差,但测量数百帕-1Pa真空度时测量精度较好,受温度影响大。ZB-1综合了上述两种真空规管的长处,可以在10kPa-0.1Pa间均有较好的测量精度。 仪器在较高的真空度条件下(P<10Pa),可以根据热偶规管测量的真空度动态校准薄膜规的零点,补偿它的温飘及零飘。由此,薄膜规可获得更好的使用性能。 |
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