北京鸿泰顺达科技有限公司
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椭偏仪      型号:SE400

 

 

主要用途、功能及特点
SE400型椭偏仪具有稳定的机械设计,可快速而精确地进行测量;SE400型椭偏仪基于WINDOWS 的操作软件具有下拉菜单、帮助功能以及应用材料库,该完整的软件包可方便地用于计算衬底、单层和多层薄膜的n(折射率),k(消光系数)和d(薄膜厚度)等参数。▪ 各种信息功能材料和器件的光学常数测量和光谱学特性分析▪ 薄膜材料的表面、界面特性、厚度以及粗糙度分析▪ 借助光学常数,对信息功能材料的组份进行测量和分析▪ 半导体材料的实时、在线工艺质量检测、评估和分析▪ 用于研究和教学目的,各种光学偏振状态的测量、试验和分析

主要技术参数

标准光源波长

632.8nm

单层透明薄膜厚度可测量范围

0 ~ 6000nm

吸光性薄膜厚度测量范围

0 ~ 2000nm

薄膜厚度的测量精度

0.1nm

折射率测量精度

0.0005

测量时间

250ms ~ 1.5s(用户可选择)

入 射 角

40° ~ 90°,(5°步进)

长期稳定性(月)

0.1°(Δ)

样 品 台

带有真空吸盘的15cm 载物台

样品校准

“ESA” 轻松的样品校准

带有样品倾斜和高度校准的自动校准镜

软    件

SENTECH公司的 SE400 椭偏仪软件

单膜的多角测量和厚度分析

厚度和折射率

单膜的厚度、折射率和消光系数

数 据 库

632.8nm 的折射率

附加选项

用于样品同步校准与检测的摄像机

30µm 微区

可选波长:0.4µm,1.55µm

自动聚焦,仿真软件