椭偏仪 型号:SE400
主要用途、功能及特点
SE400型椭偏仪具有稳定的机械设计，可快速而精确地进行测量；SE400型椭偏仪基于WINDOWS 的操作软件具有下拉菜单、帮助功能以及应用材料库，该完整的软件包可方便地用于计算衬底、单层和多层薄膜的n(折射率)，k(消光系数)和d(薄膜厚度)等参数。▪ 各种信息功能材料和器件的光学常数测量和光谱学特性分析▪ 薄膜材料的表面、界面特性、厚度以及粗糙度分析▪ 借助光学常数，对信息功能材料的组份进行测量和分析▪ 半导体材料的实时、在线工艺质量检测、评估和分析▪ 用于研究和教学目的，各种光学偏振状态的测量、试验和分析
主要技术参数
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标准光源波长 |
632.8nm |
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单层透明薄膜厚度可测量范围 |
0 ~ 6000nm |
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吸光性薄膜厚度测量范围 |
0 ~ 2000nm |
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薄膜厚度的测量精度 |
0.1nm |
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折射率测量精度 |
0.0005 |
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测量时间 |
250ms ~ 1.5s（用户可选择） |
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入 射 角 |
40° ~ 90°，（5°步进） |
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长期稳定性(月) |
0.1°（Δ） |
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样 品 台 |
带有真空吸盘的15cm 载物台 |
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样品校准 |
“ESA” 轻松的样品校准 |
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带有样品倾斜和高度校准的自动校准镜 | |
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软 件 |
SENTECH公司的 SE400 椭偏仪软件 |
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单膜的多角测量和厚度分析 |
厚度和折射率 |
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单膜的厚度、折射率和消光系数 | |
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数 据 库 |
632.8nm 的折射率 |
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附加选项 |
用于样品同步校准与检测的摄像机 |
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30µm 微区 | |
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可选波长：0.4µm，1.55µm | |
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自动聚焦，仿真软件 |
