椭偏仪 型号:SE500
主要用途、功能及特点
SE500型椭偏仪结合了椭偏仪和反射仪的优势。采用白色光源的光谱装置与椭偏仪相结合的形式，来分析同一测量点的薄膜，从而提高了层厚测量的正确性，扩展了薄膜厚度快速测量范围。对椭圆偏振模式的计算，能够快速地确定其起始值，并能测量出各向同性透明薄膜的色散曲线。与多波长的椭偏仪相比较提供了一个可选择的测量方法。高精度的SE500型椭偏仪可测量晶片上自然氧化物薄膜的厚度和折射率。SE500型椭偏仪可作为不连续波长椭偏仪，也可作为组合式的椭偏仪与反射仪。提供了标准椭偏仪不能达到的灵活的功能。▪ 各种信息功能材料和器件的光学常数测量和光谱学特性分析▪ 薄膜材料的表面、界面特性、厚度以及粗糙度分析▪ 借助光学常数，对信息功能材料的组份进行测量和分析▪ 半导体材料的实时、在线工艺质量检测、评估和分析▪ 用于研究和教学目的，各种光学偏振状态的测量、试验和分析主要技术参数
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标准光源波长 |
632.8nm |
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单层透明薄膜厚度可测量范围 |
0 ~ 6000nm |
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吸光性薄膜厚度测量范围 |
0 ~ 2000nm |
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薄膜厚度的测量精度 |
0.1nm |
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折射率测量精度 |
0.0005 |
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测量时间 |
250ms ~ 1.5s（用户可选择） |
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入 射 角 |
40° ~ 90°，（5°步进） |
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长期稳定性(月) |
0.1°（Δ） |
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样 品 台 |
带有真空吸盘的15cm 载物台 |
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样品校准 |
“ESA” 轻松的样品校准 |
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带有样品倾斜和高度校准的自动校准镜 | |
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软 件 |
SENTECH公司的 SE400 椭偏仪软件 |
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单膜的多角测量和厚度分析 |
厚度和折射率 |
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单膜的厚度、折射率和消光系数 | |
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数 据 库 |
632.8nm 的折射率 |
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附加选项 |
用于样品同步校准与检测的摄像机 |
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30µm 微区 | |
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可选波长：0.4µm，1.55µm | |
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自动聚焦，仿真软件 |
