擦除系统 型号:PC
PC系列产品适用于大批量EPROM擦除的需求。它们采用超高强度无臭氧格式紫外灯管,可产生四倍于竞争者的紫外线强度。所有六种型号适用于PC板及3"-12"(75-300mm)的半导体wafer晶圆。而且,PC-3300A, PC-4400A, PC-4420A 及 PC-8820B 具有开口结构,方便取放。
技术参数 Wafer擦除
型号 |
一次可擦除EPROM数 |
紫外强度 (uw/cm2) |
内置抽斗尺寸 |
PC-1100A |
84 |
18,500 |
8-3/8W x 12L x 1-3/8"H (21.3W x 30.5L x 3.5cmH) |
PC-2200A |
168 |
18,500 |
16-3/8W x 12L x 1-3/8"H (41.6W x 30.5L x 3.5cmH) |
PC-3300A |
252 |
18,500 |
24-3/8W x 12L x 1-3/8"H (61.9W x 30.5L x 3.5cmH) |
PC-4400A |
336 |
18,500 |
32-3/8W x 12L x 1-3/8"H (82.2W x 30.5L x 3.5cmH) |
PC-4420A |
336 |
25,000 |
32-3/8W x 12L x 1-3/8"H (82.2W x 30.5L x 3.5cmH) |
PC-8820B |
840 |
70,000* |
(32-3/8W x 26-3/4L x 1-3/8"H) (82.2W x 67.9L x 3.5cmH) | 用 IL1400A紫外强度计及紫外传感器测量
型号 |
外形尺寸 |
净重 |
PC-1100A |
12-1/4W x 18L x 8-3/8"H (31.1W x 45.7L x 21.3cmH) |
26 lbs. (11.8kg) |
PC-2200A |
20-1/4W x 18L x 8-3/8"H (51.4W x 45.7L x 21.3cmH) |
37 lbs. (16.8kg) |
PC-3300A |
28-1/4W x 18L x 8-3/8"H (71.8W x 45.7L x 21.3cmH) |
52 lbs. (23.6 kg) |
PC-4400A |
36-1/4W x 18L x 8-3/8"H (92.1W x 45.7L x 21.3cmH) |
65 lbs. (29.5 kg) |
PC-4420A |
36-1/4W x 16-1/4L x 11"H (92.1W x 41.3L x 27.9cmH) |
140 lbs. (63.5 kg) |
PC-8820B |
(36W x 33-1/4L x 15-1/2"H) ( 91.4W x 84.5L x 39.4cmH) |
275 lbs. (124.7 kg) |
所需的擦除时间(分钟)
|
擦除能量 |
擦除EPROM数* |
型号 |
6W-sec cm2 |
10W-sec cm2 |
15W-sec cm2 |
PC-1100A |
5.4 |
9.0 |
13.5 |
1片-全负荷 |
PC-2200A |
PC-3300A |
PC-4400A |
PC-4420A |
4.0 |
6.7 |
10.0 |
1片-全负荷 |
PC-8820B |
2.5 |
4.2 |
6.3 |
1片-全负荷 | |
* 基于 24-针 EPROM |
擦除时间(分钟) = 擦除能量(W-sec/cm2) x 1,000,000 紫外强度 (uw/cm2) x 60 |
注:所有产品满足UL安全认可,而且 PE系列为CSA认可. 技术规格变化恕不另行通知。 | |
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